证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆托篮输送装置及方法”,专利申请号为CN202310099608.3,授权日为2025年8月26日。
专利摘要:本发明一种晶圆托篮输送装置公开了输入传递平台、第一线性机器人、中转托架、导片托架和第二线性机器人,中转托架用于承载托篮在第一位置和第二位置之间移动,导片托架用于承载托篮在第三位置和第四位置之间移动,第二线性机器人用于在中转托架的第二位置和导片托架第三位置的之间转移托篮;第一线性机器人和第二线性机器人均沿第一方向往复移动,中转托架和所述导片托架均沿第二方向往复移动,本发明提供的一种晶圆托篮输送装置,托篮的移动路径为“U”形,减少了托篮输送系统所占用的空间,减少了空气杂质和灰尘对晶圆的污染;本发明还公开了一种晶圆托篮输送方法,减少了空置的托篮对晶圆输送的干扰,提高了晶圆的传输效率。
今年以来至纯科技新获得专利授权25个,较去年同期增加了31.58%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增19.17%。
通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业,参与招投标项目76次;财产线索方面有商标信息104条,专利信息314条,著作权信息28条;此外企业还拥有行政许可44个。
数据来源:天眼查APP
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