汇成真空获得发明专利授权：“一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备”
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2025-05-07 11:41:13
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备”，专利申请号为CN201910913163.1，授权日为2025年5月6日。
专利摘要：一种金属箔带卷绕式真空镀膜设备，设有等离子体除残留胶腔室,前段为高压辉光放电刻蚀除残胶段，后段为柱状弧光电子源刻蚀段，腔室侧面开了两窗口、一侧设有轨道；高压辉光放电刻蚀除残胶装置组件，包括离子清除残胶高压棒组件和第一移动小车，小车行走在轨道上、上面设有由立面板和框架组成的密封门托架，立面板上固定着伸向窗口的槽型支承抽屉；离子清除残胶高压棒组件固定在立面板上；柱状弧光电子源刻蚀装置组件，包括柱状弧光电子源和第二移动小车组件；柱状弧光电子源固定在立面板上；通过移动小车在垂直于机架的轨道上的来回行走，使得离子清除残胶高压棒组件和柱状弧光电子源可推入或拉出腔室。本发明除胶效果良好。
今年以来汇成真空新获得专利授权29个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3044.18万元，同比增0.96%。
数据来源：天眼查APP
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