华海清科获得实用新型专利授权：“一种晶圆清洗装置”
创始人
2025-08-22 04:22:08
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆清洗装置”，专利申请号为CN202422436121.2，授权日为2025年8月22日。
专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，所述清洗装置包括量测组件，测量基准晶圆的初始测量参数和实际测量参数；基准组件，测量初始测距参数，当基准晶圆下入从动轮凹槽中满足测距条件时，测量基准晶圆的实际测距参数；调节组件，根据实际插入量调整驱动支撑结构的相对位置使实际插入量满足预设阈值；驱动支撑结构，竖向支撑并带动晶圆转动；清洗刷，刷洗晶圆的正、反面。本实用新型可以准确的测量到晶圆下入到从动轮凹槽的深度，通过获取基准晶圆的插入深度，根据插入量的预设阈值，调整从动轮的位置，使与基准晶圆同类型的待清洗晶圆能够恰好插入从动轮的凹槽中，且不影响转速，保障晶圆的清洗效果。
今年以来华海清科新获得专利授权61个，较去年同期增加了144%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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