苏州普瑞赛取得一种冷却板及靶材冷却装置专利，急速降低靶材温度
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2025-03-18 00:03:57
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金融界2025年3月17日消息，国家知识产权局信息显示，苏州普瑞赛光电科技有限公司取得一项名为“一种冷却板及靶材冷却装置”的专利，授权公告号CN 222613412 U，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种冷却板及靶材冷却装置，涉及磁控溅射设备技术领域，包括箱体和过滤网板，所述箱体的顶部中端安装有伺服电机，且伺服电机的输出端贯穿箱体顶部连接有正反牙丝杆，所述正反牙丝杆的外部设置有第一丝杆螺母和第二丝杆螺母，且正反牙丝杆的底端连接有传动杆，所述传动杆的外部设置有清洁刷，所述过滤网板设置于清洁刷的上方，且箱体的内侧固定有承载板，所述承载板的开口处贯穿设置有支撑柱。该冷却板及靶材冷却装置，依靠第一丝杆螺母和第二丝杆螺母而相向靠近的两组冷却组件分别与靶材顶底两面贴合，此时冷却水经进水管进入水道，在受热后由出水管离开，通过冷却介质与靶材之间传热，达到急速降低靶材温度的效果。
天眼查资料显示，苏州普瑞赛光电科技有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1180万人民币，实缴资本1180万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州普瑞赛光电科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息11条，此外企业还拥有行政许可5个。
来源：金融界
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