宁波芯丰取得加工设备专利，保证加工精度
创始人
2025-05-19 12:01:23
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金融界2025年5月19日消息，国家知识产权局信息显示，宁波芯丰精密科技有限公司取得一项名为“加工设备”的专利，授权公告号CN222874057U，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，具体公开了一种加工设备，该设备包括工作台，在工作台上分别设置冷却循环通道、真空吸附通道和混合通道，混合通道用于对多孔陶瓷盘上的孔抽真空、吹扫或输送清洗介质，以满足加工设备对晶圆的加工需求。冷却循环通道内的冷却介质对承盘和多孔陶瓷盘降温，避免在加工过程中发生受热变形，保证加工精度。通过真空吸附通道对底端盘进行真空吸附，在加工过程中保证底端盘与底座盘之间不会产生间隙，避免硅粉堆积导致最终的晶圆良品率下降。
天眼查资料显示，宁波芯丰精密科技有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5324.6745万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波芯丰精密科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息71条。
来源：金融界
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