金融界2024年3月30日消息,据国家知识产权局公告,浙江大华技术股份有限公司申请一项名为“一种制备多功能膜的方法及光学视窗“,公开号CN117778974A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本申请提供了一种制备多功能膜的方法及光学视窗,通过提升膜层的致密性,提升膜层的耐盐雾腐蚀性能,从而有效延长膜层的使用寿命以及提升用户体验。该方法包括:使第一目标靶材在不低于1.2Pa的第一工作气压中被溅射,以在基材的待沉积表面沉积,得到由氧化物颗粒构成的氧化膜;所述第一目标靶材包括二氧化钛靶或氧化锌靶;在低于1.0Pa的第二工作气压中,使第二目标靶材被溅射,以在所述氧化物颗粒的表面形成包覆层,得到所述多功能膜;所述第二目标靶材包括二氧化硅靶或氧化铝靶,其中,所述第一目标靶材中所述二氧化钛靶或氧化锌靶的射频电源功率与所述第二目标靶材的射频电源功率之差大于或等于40W。
来源:金融界