长鑫存储申请光阻用量监控装置专利，提高自动化水平避免人为失误
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2024-03-16 05:38:11
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金融界2024年3月15日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“光阻用量监控装置、系统及方法“，公开号CN117705224A，申请日期为2022年9月。
专利摘要显示，本公开涉及一种光阻用量监控装置，包括监测器、警示器、光阻管理系统及成本中心系统，监测器实时监控，并通过光阻管理系统服务器触发成本中心系统服务器自动生成光阻领料单，根据光阻领料单自动领取光阻入库并补充对应的安全库存，建立动态安全库存，与传统光阻管理系统由人来判断和光阻的用量，人为更换光阻瓶完全不同，将人为控制光阻用量转为系统自动控制，通过提高自动化水平，既能避免人为失误带来未及时储备安全库存的问题，进而造成产线产能紧张或停线问题，同时减少提前解冻带来的光阻过期问题，节省生产成本。
来源：金融界
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