□江苏经济报记者 蔡 逸
近日,江苏省首批次新材料名单正式公布,徐州博康信息化学品有限公司自主研发的“KrF光刻胶-HTKN601”成功入选。这体现了该公司在高端光刻胶材料领域具备一定的技术与产业化能力,也为我国半导体材料产业的发展增添了一份助力。
全产业链布局,专注细分领域
步入博康的无尘车间,一台台精密的智能化设备正在井然有序地运转,这里生产着芯片制造中不可或缺的核心材料——光刻胶。没有机器的喧嚣与轰鸣,悄无声息的背后,是中国半导体材料国产化的重要突破。
博康已成功开发ArF/KrF单体及光刻胶、G线/I线光刻胶、封装光刻胶、电子束光刻胶等全品类产品近百款,客户全面覆盖国内80余家芯片制造商。其中,全系30余个光刻胶产品通过头部客户验证并实现量产。公司可根据客户需求定制研发,亦可围绕客户就近建设配胶中心,保持光刻材料供应的稳定、快速、可靠。
在光刻胶原材料方面,公司已实现包括光刻胶单体、树脂和光酸等的自主研发生产。光刻胶单体是合成光刻胶的核心原料,直接决定光刻胶的分辨率、灵敏度等关键性能;树脂是光刻胶的“基体骨架”,决定涂层的均匀性与附着力;光酸是光刻胶感光成像的“催化剂”,影响分辨率与灵敏度。这些材料作为光刻胶的关键成分,此前主要依赖进口。
未来,博康将继续依托全产业链优势,持续拓展产品在集成电路制造、封装测试、化合物半导体等领域的应用深度,积极把握中国市场对高端光刻胶材料的迫切需求。
二十年技术攻坚,实现自主可控
“产能爬坡的关键阶段,一刻也不能放松。”徐州博康信息化学品有限公司董事长傅志伟如是说。面对半导体光刻胶国产化率较低的形势,傅志伟带领团队在这条科研赛道上坚守了近20年。
2012年,历经数千批次反应试验,团队最终攻克了金属离子和纯化工艺等关键难题,成功实现了世界最先进193nm光刻胶单体研发和规模化生产,并开发出一系列光刻胶产品。之后,公司与中国科学院微电子研究所成立了联合实验室,在短短3年时间里,完成了2个国家科技重大专项。
傅志伟在回顾创业历程时表示:“我们真正的核心竞争力是体系的建立,而体系建立一定是需要时间的,‘铁律’你是跨不过去的。”2004年,他毅然辞去国内知名药企工作,决定自主创业,组建研发技术团队深入研究光刻材料。由于资金紧张,傅志伟将实验室建在上海的染料厂里,通风采用排风扇,实验台用白瓷砖贴,即便条件如此艰苦,公司的实验都没有停。
从最初在上海染料厂里的简陋实验室,到如今拥有500多名技术人员(其中一线研发团队200多人,硕士博士占比超过50%)的国家级专精特新“小巨人”企业,博康用20年时间构建了包括供应链体系、质量体系、生产体系和客户验证体系在内的全产业链体系。
立足科技创新,瞄准未来赛道
未来5年,博康将紧扣“人工智能+”战略方向,持续夯实合成、聚合、配方全产业链技术壁垒,打造业内标杆级新型化工平台,构建“产品迭代—数据沉淀—平台升级”的良性闭环生态。
公司还将进一步深耕精细化学领域,积极拓展在新能源、生物医药等战略性产业的应用场景。傅志伟说:“光刻胶虽然市场规模不大,但支撑的是中国的芯片产业。”博康将通过持续的技术积累与产业实践,为推动我国光刻材料产业链结构升级与高质量发展贡献力量。
2022年,博康新建年产1100吨光刻材料及1万吨电子溶剂新工厂正式投产,项目全部达产后,可实现年产值20亿元,这也是中国目前可以规模化生产中高端光刻胶的重要生产基地。2023年,博康在产业资本投资的基础上,再次获得多家资本机构的6亿元融资,投后估值达70亿元,成为半导体领域新晋独角兽企业,并于2024年获得江苏独角兽企业称号。
截至目前,博康申请专利200余项,已获授权125项,承担了多个国家级重点研发及产业化项目。2024年3月,“半导体工艺用关键光刻材料”被认定为第八批国家级制造业单项冠军。这些成就为博康未来的发展奠定了坚实基础,也将助力公司在全球光刻材料领域取得更大的突破。