拓荆科技获得实用新型专利授权：“一种固化工艺设备”
创始人
2025-09-16 21:02:11
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种固化工艺设备”，专利申请号为CN202422113961.5，授权日为2025年9月16日。
专利摘要：本实用新型公开了一种固化工艺设备。该固化工艺设备包括：工艺腔体，其内部放置待进行薄膜固化的晶圆；灯箱，位于所述工艺腔体内的上方，内部设有紫外光源，用于提供固化所述薄膜的紫外光线；通风管路，其一端连接所述灯箱，另一端连通外部；以及旋转电机，装配在所述灯箱外部的与所述通风管路的接口处，用于驱动所述灯箱旋转照射下方的所述晶圆的表面，使晶圆表面各区域的光照强度均匀。本实用新型能够去除皮带等中间传输介质的干扰因素，延长固化工艺设备的使用寿命，提升固化工艺过程中固化光照的准确度及其可调性。
今年以来拓荆科技新获得专利授权39个，较去年同期增加了56%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。
通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息710条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
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