思沃先进装备申请晶圆载移设备及贴膜设备专利，提高晶圆的平整度
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2025-07-15 07:40:37
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金融界2025年7月14日消息，国家知识产权局信息显示，广东思沃先进装备有限公司申请一项名为“晶圆载移设备及贴膜设备”的专利，公开号CN120300045A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆贴胶的技术领域，尤其涉及晶圆载移设备及贴膜设备，晶圆载移设备包括压平组件，设置于座体；翻转组件，包括第一支撑架、转动台、第一驱动模组和第二驱动模组；第一支撑架设置于座体；第一驱动模组设置于座体且与第一支撑架驱动连接；转动台设置于第一支撑架；第二驱动模组设置于第一支撑架且与转动台驱动连接；吸附组件，包括吸附件、支撑板、第三驱动模组和第四驱动模组；支撑板设置于转动台，吸附件设置于转动台；第三驱动模组设置于支撑板且与吸附件驱动连接；第四驱动模组设置于支撑板且与吸附件驱动连接；检测组件位于吸附件的上方。通过本发明的晶圆载移设备可提高晶圆的平整度，还能对晶圆实现精确载移和角度调整。
天眼查资料显示，广东思沃先进装备有限公司，成立于2009年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1235.2596万人民币。通过天眼查大数据分析，广东思沃先进装备有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息216条，此外企业还拥有行政许可12个。
来源：金融界
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