华海清科获得发明专利授权：“供液臂、化学机械抛光装置和设备”
创始人
2025-06-15 01:41:06
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“供液臂、化学机械抛光装置和设备”，专利申请号为CN202411873994.8，授权日为2025年6月13日。
专利摘要：本申请提供一种供液臂、化学机械抛光装置和设备。供液臂包括摆臂，用于向抛光垫输送抛光液；转轴，摆臂与转轴接触连接且可相对转轴转动；定位机构，设置于摆臂和转轴，用于在摆臂偏离工作位时控制摆臂重新定位至工作位；工作位为摆臂向抛光垫输送抛光液时摆臂相对于转轴的位置；复位组件，连接于摆臂，复位组件形成有接触端；定位件，设置于转轴和摆臂之间且连接于转轴，复位组件的接触端可相对定位件滑动，定位件设置有定位槽，接触端置于定位槽内时摆臂置于工作位，复位组件用于在接触端脱离定位槽时控制接触端重新滑入定位槽。本申请保证了抛光液供给臂的位置能够维持一致性和准确性，确保了抛光液的精确投放，准确地滴落在目标位置。
今年以来华海清科新获得专利授权43个，较去年同期增加了138.89%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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