金融界 2025 年 5 月 15 日消息,国家知识产权局信息显示,杭州玉之泉精密仪器有限公司申请一项名为“一种波长特异性调控器件及其制备方法和使用该器件的激光直写光刻系统”的专利,公开号 CN119987160A,申请日期为 2025 年 3 月 。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于激光直写光刻的波长特异性调控器件,包括微调制结构和光纤,微调制结构为矩形方块,在光纤端面位置为遮挡住纤芯的一半区域,微调制结构厚度满足产生的光程差,在激发光波长处产生 2π 相位差,在抑制光波长处产生 π 相位差。其制备方法为将光纤的一端浸入光刻胶通过双光子刻写模块刻写微调制结构后进行显影。波长特异性调控器件对激发光不产生调制,保持高斯光束传输,对抑制光产生调制,将其形状调制为所需的抑制光斑。由于两光束在器件中的同时传输,避免了光束对准问题,增加了光路的稳定性,器件的使用也提升了系统的集成性。
天眼查资料显示,杭州玉之泉精密仪器有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本486万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州玉之泉精密仪器有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目33次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可3个。
来源:金融界