证券之星消息,根据天眼查APP数据显示凯格精机(301338)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种晶圆压平设备”,专利申请号为CN202421623213.5,授权日为2025年5月6日。
专利摘要:本实用新型涉及固晶设备技术领域,具体公开一种晶圆压平设备,包括:晶圆平台,所述晶圆平台设有若干真空吸附孔;压晶板,所述压晶板位于所述晶圆平台的上方;万向关节组件;升降机构,所述升降机构通过所述万向关节组件与所述压晶板连接,驱使所述压晶板相对所述晶圆平台上下运动。本实用新型提供的晶圆压平设备,能有效解决晶圆在压平过程中容易受力不均而断裂的问题。
今年以来凯格精机新获得专利授权21个,较去年同期增加了61.54%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7812.78万元,同比增4.93%。
数据来源:天眼查APP
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