创微微电子取得磁力卡盘专利，节省装置内部空间
创始人
2025-04-18 11:22:21
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金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，创微微电子（常州）有限公司取得一项名为“磁力卡盘”的专利，授权公告号CN 222762958 U，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本实用新型属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种磁力卡盘，本装置包括：托盘，其上端面圆周阵列有若干活动卡销；其中各圆周阵列的活动卡销中央形成圆形的晶圆放置位；各所述活动卡销的底部均贯穿托盘，且各所述活动卡销的底部均固定有从动磁块；以及主动磁块，设置在托盘的下方，且所述主动磁块的数量与各从动磁块数量对应；其中所述主动磁块适于在移动靠近从动磁块的过程中利用磁力驱动活动卡销运动，以对晶圆进行夹持；采用主动磁块与从动磁块，利用磁力驱动卡销进行旋转，进而使得各圆周阵列的卡销顶部偏心设置的限位件对晶圆的外壁进行夹持与松开，结构简单，维护方便，磁块的安装节省装置内部空间。
天眼查资料显示，创微微电子（常州）有限公司，成立于2020年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，创微微电子（常州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，专利信息71条，此外企业还拥有行政许可7个。
来源：金融界
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