中微半导体取得热反射组件相关专利，有助于提高腔内热能利用率
创始人
2025-02-17 10:41:26
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金融界2025年2月15日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司取得一项名为“一种热反射组件及其热反射装置和薄膜处理装置”的专利，授权公告号CN 222476740 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种热反射组件及其热反射装置和薄膜处理装置，该热反射组件用于保护薄膜处理装置的腔体底壁，其包含：第一石英结构；第二石英结构，其至少部分区域位于所述第一石英结构的下方；热反射板，其上表面为镜面，所述第一石英结构和所述第二石英结构包围所述热反射板密封设置。其优点是：所述热反射组件将第一石英结构、第二石英结构和热反射板相结合，通过热反射板对热辐射进行反射，有助于提高腔内热能的利用率，降低工艺过程中的能量损耗，同时其还通过第一石英结构和第二石英结包围热反射板密封设置，有助于保证其热反射效果及其使用寿命。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币，实缴资本61927.9423万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了27家企业，参与招投标项目65次，知识产权方面有商标信息71条，专利信息1447条，此外企业还拥有行政许可71个。
来源：金融界
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