智立方取得一种晶圆背面吸附装置专利，提高了检测效率
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2024-01-09 22:14:11
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金融界2024年1月8日消息，据国家知识产权局公告，深圳市智立方自动化设备股份有限公司取得一项名为“一种晶圆背面吸附装置“，授权公告号CN220306237U，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆检测辅助技术领域，具体为一种晶圆背面吸附装置，包括无刷电机，所述无刷电机的驱动端设置有连接板，所述连接板的底部通过螺栓连接有吸盘安装框，吸盘设置于所述吸盘安装框上，所述吸盘的中心处开设有可直接检测晶圆背面的检测口，所述吸盘的表面设置有真空柱，所述真空柱的一端设置有真空接头，所述真空柱的内部开设有真空通道。该晶圆背面吸附装置，通过吸盘上检测口的设置，可以在检测时，不会遮挡晶圆背面，还可以在晶圆背面进行打光检测，辅助检测设备对晶圆进行两面检测，提高了检测效率，通过吸嘴的设置，可以使该装置兼容晶圆3mm以内的翘曲度变形，还不会影响晶圆的吸附稳定性。
来源：金融界
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