极紫外光刻新技术问世能够显著降低功耗_资讯

创始人

2024-08-03 14:21:15

0次

8月3日消息，据科技日报报道，日本冲绳科学技术大学院大学（OIST）近日设计出一种极紫外（EUV）光刻技术。

IC photo

该技术解决了传统光刻中 EUV 射线被吸收、光线偏离等问题。将反射镜数量限为 4 面，降低功耗，超过 10%的能量可穿透到晶圆。

核心投影仪由两个反射镜组成，配置简单，性能经验证能满足先进半导体生产。基于此设计的光刻设备可采用更小的EUV光源，其功耗还不到传统EUV光刻机的十分之一，降低成本，提高机器可靠性和寿命。

活动回顾 | 峥嵘岁月忆初心•... 峥嵘岁月忆初心•童心巧手颂祖国 8月23日，由市文广体旅局主办、市图书馆承办的“追寻红色记忆•点亮爱...

原创墨... 玛雅文明在整个人类进化史上占据着极为重要的地位，其诞生与衰亡都充满了神秘色彩，至今仍然是令人困惑的谜...

2025数智美食生态大会在丰台... 新京报讯（记者姜慧梓）8月25日，2025中关村论坛系列活动—2025数智美食生态大会在北京丰台开幕...

重磅好消息，来自地下700米！江门中微子实验大科学装置正式运行 2025年8月26日，江门中微子实验（JUNO）成功完成2万吨液体...

国星宇航更新招股书：AI智算卫... 近日，港交所文件显示，中国民营商业航天企业成都国星宇航科技股份有限公司(以下简称"国星宇航")更新招...

腾讯会议上线AI纪要，实时捕捉... 2025-08-26 14:14:04 作者：狼叫兽 8月25日，腾讯会议更新，正式上线“AI纪要...

XR眼镜如何成为工业现场的生产... 工业制造领域始终面临着诸多挑战。精密设备的维护复杂度持续增加，生产环节的质量控制要求愈发严格，物流仓...

vivo Y500系列官宣9月... 今日上午，vivo手机官宣“国民旗舰”新机 vivo Y500 将于9月1日19时正式发布。按照官...

捉到“幽灵粒子”，江门中微子实... 捉到“幽灵粒子”，江门中微子实验正式运行江门中微子实验中心探测器内部的有机玻璃球及光电倍增管。...

东疆再创数据跨境流动“天津方案... 天津北方网讯：近日，巴基斯坦上市企业NETSOL Technologies Limited（纳索尔科...

中国联通雄安互联网产业园（一期... 8月25日，作为雄安新区启动区市场化疏解项目之一，中国联通雄安互联网产业园（一期）正式投入运营。 ...

谷歌Gemini2.5Flas... 【新闻稿】近日，全球科技巨头谷歌公司正式宣布推出其最新一代人工智能模型——Gemini 2.5 ...

人工智能板块震荡调整，人工智能... 截至午间收盘，中证人工智能主题指数下跌0.2%，上证科创板人工智能指数下跌1.1%，人工智能ETF（...

原创彗... 今天必须跟你们唠唠一个超震撼的科学新发现！最近，科学家对彗星探测器的数据进行了重新分析，结果在彗星表...

智元机器人全系产品正式开售，关... 国元证券近日发布人形机器人产业周报：2025年8月17日至8月22日，人形机器人概念指数上涨4.71...

“星舰”第10次试飞，连续2天... 新闻荐读当地时间8月25日傍晚，北京时间今天（8月26日）早上，美国太空探索技术公司新一代重型运载...

首航！输电线路实现无人机巡检供稿：外江管理处近日，四川省都江堰水利发展中心电站运维中心应用无人机技术，对三台县星火电站35KV...

纯电动飞机要来了！时速320公... 快科技8月25日消息，据央视新闻报道，近期时的科技E20 eVTOL正在进行最后的适航审定，预计明年...

2025冷年中国空调销量破亿 ... 快科技8月25日消息，2025冷年（2024年8月至2025年7月），中国空调市场交出了一份令人瞩目...

米亚斯取得三向可调节的开关支架... 金融界2025年8月26日消息，国家知识产权局信息显示，米亚斯物流设备（昆山）有限公司取得一项名为“...