证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中船特气(688146)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种乙硅烷的制备方法及应用”,专利申请号为CN202310817508.X,授权日为2025年7月25日。
专利摘要:本发明提供了一种乙硅烷的制备方法及应用,该方法包括以下步骤:将甲硅烷气体及其他气体进入气体混合装置内混合均匀,然后进入等离子体发生装置内,控制等离子体电参数。最后将反应产物乙硅烷采出后进入收集冷阱,充装至钢瓶,得到转化率为90%的乙硅烷产品。利用该方法制备的乙硅烷经二级精馏提纯后,易得到纯度为99.999%的乙硅烷,之后采用LPCVD方式制备多晶硅薄膜,得到了更低的工艺温度条件下生长的Si层。
今年以来中船特气新获得专利授权25个,较去年同期增加了177.78%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了1.68亿元,同比增4.64%。
通过天眼查大数据分析,中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目9129次;财产线索方面有商标信息17条,专利信息747条,著作权信息2条;此外企业还拥有行政许可145个。
数据来源:天眼查APP
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