微导纳米获得实用新型专利授权：“沉积设备”
创始人
2025-07-18 13:21:17
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“沉积设备”，专利申请号为CN202422367729.4，授权日为2025年7月18日。
专利摘要：本申请公开了沉积设备。沉积设备包括设备主体、载片舟和红外加热器。设备主体具有工艺腔体。载片舟设置于工艺腔体内，载片舟具有用于容置基片的容置腔，载片舟将基片的至少一面遮掩。红外加热器与载片舟的其中一面相对且间隔设置，红外加热器与载片舟之间具有供工艺气体流过的工艺通道，红外加热器用于加热未被遮掩的基片侧面。通过上述方式，本申请能够实现对基片需要镀膜的侧面针对性加热。
今年以来微导纳米新获得专利授权47个，较去年同期增加了42.42%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。
通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息516条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。
数据来源：天眼查APP
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