金融界2025年5月12日消息,国家知识产权局信息显示,青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种镀膜设备”的专利,公开号CN119956324A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明公开了一种镀膜设备,包括真空腔体,真空腔体内部形成真空腔,真空腔内设置有反应腔体,反应腔体包括分体设置的第一腔体和第二腔体,第一腔体上形成有承载平台,承载平台用于放置晶圆,第一腔体和第二腔体中至少一个可移动设置,使反应腔体具有开启和闭合两种状态,在闭合状态,反应腔体内形成密闭腔,并使晶圆位于密闭腔内,第一腔体和第二腔体中至少一个设置有加热装置。本发明提供的镀膜设备,在真空腔体内设置独立的反应腔体,使镀膜在反应腔体内进行,避免真空腔前驱体污染,还能够提高前驱体的利用率。
天眼查资料显示,青岛思锐智能科技股份有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目67次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息122条,此外企业还拥有行政许可22个。
来源:金融界